商品介紹

　 　 　 　 　 　 　 　
　
光學輪廓儀
Optical Profiler
 　
　
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　     用於表面粗糙度和表面形貌的量測，比使用探針是台階儀或原子力顯微鏡(AFM)成本更低2~3倍，利用垂直掃描干涉(VSI)，其性可達50奈米的垂直解析度，如多加相移干涉(PSI)的功能，更可達1奈米的高解析度。
     其軟體功能包括表面粗糙度、形貌和台階高度的量測，在數秒內，即可獲得平面和曲面表面上量測的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能來組合多個影像，以提供大面積量測。

　
　
　

　 　
　
　
　 　　
　　
  ● 特點 　　
　　
   • 標配XY兩軸自動移動平台，行程範圍100 x 100 mm，且含+/-5°的tip-tilt功能；
       亦可選配200 x 200 mm行程平台
   • 標配Z軸自動移動平台，行程範圍100 mm
   • 業界領先之500 um壓電移動行程
   • 業界領先之最大視野:使用10倍物鏡可提供2毫米的視野，並具數位變焦功能，不
       需要常常切換多個物鏡。物鏡轉盤也可一次搭載四組物鏡，能滿足需要多種倍率
       物鏡交替使用的量測應用
   • 可量測樣品最大寬度:256 mm
   • 階高標準片:包含一個10個微米階高標準片，可達0.5%準確度。另也提供具有100
       奈米，2微米以及4微米等多階高標準片
   • 次奈米等級的垂直解析度
   • 功能強大的線上分析軟體(還可透過手機或平板操作)
　　
　　

▋應用範例
-階高測量-
從奈米到毫米的階高量測(Ex: 玻璃上的鋁薄膜)
-型態: 曲面和形狀-
(Ex: 黃蜂的複眼)
-粗糙度及波紋度-
(EX: 蝕刻矽表面)
-光學透鏡-
(EX: 菲涅耳透鏡)
-切割道-
(EX: 切割道深度量測)



▋應用產業

 　　
   • 學研單位
   • 矽和化合物半導體
   • 精密光學和機械量測
   • 醫療設備
   • LED發光二極體
   • MEMS微機電系統
   • 數據儲存設備
   • 汽車產業
　　
　　

  針對有曲率和其他非平坦之表面的樣品，且軟體具有平坦化形狀的功能(aka form removal)，可輕鬆量測表面粗糙度及二維表面結構。軟體可計算47種規範ASME/EUR/ISO的粗糙度參數，此白光干涉量測法更明確定義於ISO25178的第64部分之規範。

———●〈表面粗糙度量測〉●———
Roughness measurement of mlrror-finlsh automotive metal using VSI mode
Roughness measurement of bare silicon wafer using PSI mode
　
　　
   • 探針台階儀為破壞性的量測，此系統利用光學非接觸的方式
   • 可量測有曲率和其他非平坦之表面的樣品
   • 同樣的量測時間，如幾秒，此系統可量測得幾平方毫米的面積，但探針式台階儀只
       能做一維線性的掃描
   • 可量測更好的深寬比
　　
—●〈 與探針式台階儀(@ Dektak & Alpha Step® stylus)之比較 〉●—

———●〈 功能強大的線上分析軟體:                                                         
                            可用於此系統和原子力顯微鏡(AFM)的量測影像〉●———
　　 　　
量測階高(Step-Height)
　　
移除形狀之功能
　　
濾鏡之功能
　　
合併多個影像之功能(需要各影像之XY座標位置
▋產品規格
項目
規格
性能規格
 (1) Thickness Range,WLI:50nm~10mm
(2) Thickness Range,PSI*:0~3µm
(3) Sample Reflectance Range:0.05%~100%
機械規格
 (1) Z Range:100mm
(2) Piezo Range:500µm
(3) XY Stage Type:Automated
(4) XY Stage Range:100mmX100mm or 200mmX200mm
(5) Camera:2592X1944 (5megapixels)
物鏡選擇
(Nikon CF IC Epi Plan)
放大倍率
視場
 ◆ 5X:4.0X3.4mm
◆ 10X:2.0X1.7mm
◆ 20X:1.0X0.85mm
◆ 50X:0.4X0.34mm
◆ 100X:0.2X0.17mm
採樣空間解析度
*:如選配像移干涉(PSI)的功能
 ◆ 1.76µm
◆ 0.88µm
◆ 0.44µm
◆ 0.176µm
◆ 0.088µm